产品描述:
功能:
· INFICON ModeLock 技术确保获得更高,更稳定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
· Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度
· 支持最多六个来源同时共沉积
· 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
· 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
· USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
· 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统(使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器,14 TTL 输出),并充分利用逻辑功能(100 个逻辑语句)
· 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
· 可容纳最多 50 个过程,每个过程 200 层,这些过程关联到一起,总共可容纳 10,000 层。
· 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
· 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
· 可选以太网通信
· 符合 RoHS 标准
典型应用
· 高端光学镀膜
规格:
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