产品描述：

考夫曼离子源性能参数

　　离子源口径φ17cm

　　可调仰角±20°(底座自带刻度指针)

　　离子束能量100~1000eV连续可调

　　最大离子束流500mA

　　束能量均匀区：≥于φ900mm(距源出口900mm处)

　　束能量不均匀性：≤±10%(距源出口900mm处)

　　工作气体氨气(Ar)、氧气(O2)

　　工作气压参考范围0.5~2.0*10-2Pa(推荐0.8~1.5*10-2Pa)

　　安装方式：内装

　　尺寸：251m*309.5mm

　　考夫曼离子源的特点

　　1.优化参数后，可获得能量单一的离子束

　　2.离子束流及离子能量连续精确可调

　　3.离子能量可调节范围广、应用范围广

　　4.相比等离子体源及无栅离子源，可获得更高的离子能量

　　5.通过不同栅网的选择，可获得准直或大面积发散离子束

　　下面为霍尔离子源与考夫曼离子源的能量对照表(仅供参考)

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