产品描述：

本霍尔离子源功能：

　　预清洁、优化工件表面，增加膜层附着力，增强多层镀膜能力，改善膜层聚密度，改善膜层光学特性。

　　特点：

　　1.离子源灯丝采用交流供电，电流均衡，功率密度大。

　　2.设有软启动功能，防止冲击源头，延长产品使用寿命。

　　3.设有短路和过流保护，工作安全可靠。不怕人为误操作或源头原因造成的长时间短路问题。

　　4.可以增加特色功能，如外控，阀控，定时等。

　　5.电源功率充足，灯丝电压/电流可达40V/50A，阳极电压/电流可达220V，25A。长期工作。

　　优点：

　　1、高输出的离子束电流，能提高镀膜 速率。

　　2、经优化的离子束输出能量能减低基板表面受高能离子轰击而损坏的情况，使产品合格率得以提高。

　　3、宽广的离子束射出角度能覆盖更大的镀膜面积，用户能增加每炉基板数目，提高生产效率。

　　4、坚固及模块式的结构能降低维修成本及停机时间。

　　5、经广泛使用验证的直电流源令操作更简便，减少停机时间。

　　6、紧凑的外型设计，能令用户更方便地升级现有系统。

　　7、与自动化系统连接更便利。

　　8、体积细小，安装容易，备有灯丝阴极和空心阴极两种形式，适用于不同镀膜工艺。

　　应用领域：

　　金雅克系列离子源产品能输出高电流但能量低的离子束，是表面处理及薄膜电镀工艺的理想工具。其使用范围包括：

　　1、离子束辅助镀膜

　　2、基板材料预清洁及表面处理。

　　3、超硬碳质镀膜。

　　4、增加薄膜附着力和密度，及对温差和温度的稳定性。

　　5、改善光膜的折射指数、散射、吸光率等参数。

　　6、降低镀膜工艺温度要求。

　　用于真空镀膜过程中基底离子轰击清洁及沉积过程中离子轰击能量输送。

　　广泛应用于：增透膜、眼镜镀膜、光纤光学、高反镜、热/冷反光镜、低漂移滤波器、带通滤波器、在线清洗、类金刚石沉积等。

　　能够改善薄膜的生长、优化薄膜结构，增加镀膜的一致性和重复性，低温高速率镀膜，清除工件表面水和碳氢化合物，增加薄膜密度，降低内应力低，清除结合力弱的分子，反应气体活度增加，薄膜成分易于控制。

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