产品描述:
出为单极脉冲,具有脉冲幅值稳压功能。使用本电源能明显减少工件打火,通过调节脉冲频率及占空比可改善和控制成膜速度和温度,增加膜基结合力,提高沉积速率。
主要参数
工作电压可分A、B两档,每一档内的电压连续可调,脉冲上升、下降快,脉冲幅值稳定;
性能特点:
★ 输入电压及频率范围宽,输入抗强干扰设计,输出纯正弦波,失真度低,稳定性优。
★ 高精度LED数码管显示电压、电流、频率及功率,多圈电位器精准调节,操作方便。
★ 动态反应速度快,小于2ms,具有完善的保护功能,确保负载及电源的安全
★ 采用先进的IGBT/SPWM技术,体积小、噪音低、高可靠性
★ 大裕量输入抗扰范围设计,输入可配发电机
★ 输入输出双重隔离、安全可靠
★ 纯正弦波输出,低失真度
a. 电源基本参数
输入电压: 380VAC±5%,50Hz,三相交流。
输入开关: 三位自动空气开关。
b. 电源性能参数
输出功率: 最大功率为5000W。
输出频率: 20kHZ~40KHz
输出占空比:20%~80%
电 压: 空载电压≥1500V
工作电流: 0~3A连续可调
c. 电源环境参数
工作温度: O℃—40℃(24小时的平均最高温度:35℃)。
海拔高度:≤2000米。
存放: 最低-5℃、最高45℃。最低800毫巴(约海拔2000米)。
运输: 最低-5℃、最高45℃。最低660毫巴(约海拔3265米)。
污染: 冷却空气不得含有腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒以及吸潮后会变成导电的颗粒。
湿度: 低于80%的相对湿度;无冷凝水或结冰。
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