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阳极膜线性离子源

来源:本站 发表时间:2020/2/7 9:46:42 浏览次数:

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依据阳极层线性封闭漂移理论,气体在离子中的阴阳极之间通过,其阳极的正电压与加在内外阴极端部间的强磁场相互作用,产生等离子体,来自于等离子体中的离子受阳极电场的驱动,由离子源中产生喷出的离子束流。

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