Product introduction
产品描述:
电子枪高压柜:
1.本高压柜集成化程度高,可嵌入现阶段的各型晶控(如IC6、SQC310、880等)和光学膜厚仪(JYK产)及各型复合真空计压控仪(JYK产)
2.在增加上述部件后再加上触摸屏可实现一柜全自动,光斑一位一变真正意义上的全自动镀膜工艺,让镀膜操作更加简便实用。
3. 恒电压特性
通过负载电压反馈,使负载电压既可随控制信号进行调节,又可保持恒定。当电网电压发生波动或负载阻抗发生变化时,在调功器输出电压有充分余量的前提下,恒压精度优于±1%;用户在使用恒压功能时,要将负载要求的最大恒定负载电压与装置输出的最大电压间留有充分的余量,以防在电网电压降低时,调节器进入非线性区,不能维持电压恒定。
4. 恒电流特性
通过负载电流反馈,使负载电流既可随控制信号进行调节,又可保持恒定。当电网电压发生波动或负载阻抗发生变化时,在调功器输出电压有充分余量的前提下,恒流精度优于±1%;用户在使用恒流功能时,要将负载要求的最大负载电流下所对应的装置输出的最大电压间留有充分的余量,以防在电网电压降低时,调节器进入非线性区,不能维持电流恒定。
5.限流特性
当输出电流大于额定值的105%时,限流环节动作,使输出电流限制在额定值左右,反应时间约200ms。
6.过流保护特性
当输出电流大于额定值的180%时,过流环节在检测到过流信号后,半个周波时间(10ms)内自动截止输出并报警。
7. 软启动、软关断特性
当电源投入合闸或RQD对GND接通时,输出电压不是跃变增加而是经过0-15s时间缓慢增加(软启动),当控制信号断开或RQD对GND断开时输出电压不是突变为零,而是缓慢线性的减少到零(软关断)。这个功能对于变压器一次侧控制、感性负载的控制、大容量负载的通-断控制很重要。对于防止过大冲击电流对装置主电路SCR的保护十分有利。
技术指标
电源功率:6kw~15kw
阳极电压:-6kv~10kv,电动转换
电子束束流:0~1.5A可调
偏转扫描单元:电流±3A可调,扫描频率0~500HZ
枪灯丝变压器:4V (8V)/60A
可与国内及德国、美国、日本等不同厂商的电子枪配套使用