产品描述：

出为单极脉冲，具有脉冲幅值稳压功能。使用本电源能明显减少工件打火，通过调节脉冲频率及占空比可改善和控制成膜速度和温度，增加膜基结合力，提高沉积速率。

　　主要参数

　　工作电压可分A、B两档，每一档内的电压连续可调，脉冲上升、下降快，脉冲幅值稳定;

　　性能特点：

　　★ 输入电压及频率范围宽，输入抗强干扰设计，输出纯正弦波，失真度低，稳定性优。

　　★ 高精度LED数码管显示电压、电流、频率及功率，多圈电位器精准调节，操作方便。

　　★ 动态反应速度快，小于2ms,具有完善的保护功能，确保负载及电源的安全

　　★ 采用先进的IGBT/SPWM技术，体积小、噪音低、高可靠性

　　★ 大裕量输入抗扰范围设计，输入可配发电机

　　★ 输入输出双重隔离、安全可靠

　　★ 纯正弦波输出，低失真度

　　a. 电源基本参数

　　输入电压： 380VAC±5%，50Hz，三相交流。

　　输入开关： 三位自动空气开关。

　　b. 电源性能参数

　　输出功率： 最大功率为5000W。

　　输出频率： 20kHZ～40KHz

　　输出占空比：20%～80%

　　电 压： 空载电压≥1500V

　　工作电流： 0～3A连续可调

　　c. 电源环境参数

　　工作温度： O℃—40℃(24小时的平均最高温度：35℃)。

　　海拔高度：≤2000米。

　　存放： 最低-5℃、最高45℃。最低800毫巴(约海拔2000米)。

　　运输： 最低-5℃、最高45℃。最低660毫巴(约海拔3265米)。

　　污染： 冷却空气不得含有腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒以及吸潮后会变成导电的颗粒。

　　湿度： 低于80%的相对湿度;无冷凝水或结冰。