产品描述：

产品介绍：

■ 采用JYK自动光学控制(使用高稳定性光源、光纤接收系统及高性能锁相放大单元等实现反射或透射光强检测)

■ 采用Inficon或Maxtek石英晶体膜厚监测系统(实现镀膜过程蒸发速率的恒定及膜层厚度的自动监控)

■ 采用新一代大容量 E型电子枪，适合稳定镀制从数层到多达数十层的膜层(带嵌入式电子束扫描单元、坩埚精确定位单元及可移动枪体机械单位等模块)

■ 采用先进的大功率霍尔离子源(采用自动切换功能的双灯丝阴极或阴极电子发射)/RF射频源

■ 采用多功能工件传动方式(搭载拱形或行星式旋转架)

■ 采用高速真空机组+深冷低温捕集系统(保证高效率及高稳定性的真空特性)

精密光学镀膜设备

ZZS系列精密光学镀膜设备专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计，各系统和总体结构满足了光学薄膜工艺的要求，适用于增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜，对于100层膜的超大型膜系也能做到很好的满足。

配置大坩埚电子枪，多种波形扫描系统，整个蒸发过程中膜料表面平坦，蒸发分布稳定。

加配石英晶体膜厚控制仪可实现成膜速率和镀膜过程的自动控制。

配置大功率离子源，提高膜层质量好。

总体结构设计合理，更符合工艺要求;局部细节设计富于人性化，方便操作者。